10月15日消息，據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道，已經(jīng)推出了兩款極紫外光刻機(jī)的阿斯麥，正在研發(fā)第三款，計(jì)劃在明年年中開(kāi)始出貨。
阿斯麥極紫外光刻機(jī)
阿斯麥?zhǔn)窃谌径鹊呢?cái)報(bào)中，披露他們?nèi)碌臉O紫外光刻機(jī)將在明年年中開(kāi)始出貨的，型號(hào)為TWINSCAN NXE:3600D。
在財(cái)報(bào)中，阿斯麥表示他們已經(jīng)敲定了TWINSCAN NXE:3600D的規(guī)格，其生產(chǎn)效率將提升18%，在30mJ/cm2的曝光速度下每小時(shí)可處理160片晶圓。
值得注意的是，在2019年的年報(bào)中，阿斯麥就曾披露他們?cè)谘邪l(fā)新一代的極紫外光刻機(jī)，但當(dāng)時(shí)他們是計(jì)劃在2022年年初開(kāi)始出貨，2024或者2025年大規(guī)模生產(chǎn)。三季度財(cái)報(bào)中披露在明年年中開(kāi)始出貨，也就意味著出貨時(shí)間較原計(jì)劃提前了半年。
極紫外光刻機(jī)是7nm和5nm芯片制程工藝所必不可少的設(shè)備，目前全球只有阿斯麥能供應(yīng)。臺(tái)積電、三星這兩大芯片代工商的制程工藝都已提升到了7nm和5nm，他們所需要的極紫外光刻機(jī)也全部仰仗于阿斯麥，全新的TWINSCAN NXE:3600D的首臺(tái)，預(yù)計(jì)也會(huì)交由這兩家代工商中的一家。
阿斯麥目前在售的兩款極紫外光刻機(jī)分別是TWINSCAN NXE:3400B和TWINSCAN NXE:3400C，采用的都是波長(zhǎng)為13.5nm的極紫外光源，30mJ/cm2的曝光速度下，前者每小時(shí)可處理125片晶圓，后者則可達(dá)到170片。
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