據(jù)企查查工商信息，近日，華為旗下的哈勃投資公司開始投資光刻機領(lǐng)域，入股了由中科院微電子所控股的科益虹源公司。
6月2日，北京科益虹源光電技術(shù)公司日前發(fā)生了變化，注冊資金從1.2億元增加到2.02億元，增長68%，新增投資人包括華為旗下的哈勃投資，占股4.76%，成為第七大股東。科益虹源主要業(yè)務是光刻機中的三大核心技術(shù)之一的光源系統(tǒng)，是國內(nèi)第一、全球第三的193nm ArF準分子激光器企業(yè)。
根據(jù)相關(guān)報道，2018年科益虹源自主設(shè)計開發(fā)的國內(nèi)首臺高能準分子激光器出貨，打破了國外廠商的長期壟斷。
2020年4月份，科益虹源集成電路光刻光源制造及服務基地項目開工建設(shè)。該項目由北京科益虹源光電技術(shù)有限公司投資建設(shè)，總投資5億元，建筑面積1.2萬平方米，年產(chǎn)RS222型光刻準分子激光器、光刻用準分子激光器、405光纖耦合頭等各類設(shè)備30臺（套）。
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