財(cái)聯(lián)社（上海，記者 邱豪 實(shí)習(xí)記者 林榮昌）訊，7月初，國產(chǎn)刻蝕機(jī)龍頭——中微公司獲國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金（簡稱“大基金”）25億元投資。而自成立以來，大基金已投資包括中微公司、北方華創(chuàng)、長川科技等多家半導(dǎo)體設(shè)備廠商。
大基金的入局，給半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)帶來了哪些變化？國內(nèi)某半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)高管表示，大基金的投資不僅僅是財(cái)務(wù)方面，同時(shí)也是戰(zhàn)略上的。大基金通過傾注資源，以及上下游生態(tài)相互間的影響，讓國內(nèi)裝備材料企業(yè)盡快獲得商業(yè)化突破。
半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)已有技術(shù)突破
半導(dǎo)體設(shè)備主要分為光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、擴(kuò)散\離子注入設(shè)備、清洗設(shè)備、檢測設(shè)備等六大類設(shè)備，其中光刻、刻蝕和薄膜沉積設(shè)備等占比較高，光刻機(jī)約占總體設(shè)備銷售額的30%，刻蝕機(jī)約占20%，薄膜沉積設(shè)備約占25%(PVD 15%、CVD 10%)。
財(cái)聯(lián)社記者梳理資料發(fā)現(xiàn)，目前為止，大基金的布局涉及薄膜沉積、刻蝕、離子注入機(jī)、檢測設(shè)備、清洗設(shè)備等設(shè)備領(lǐng)域的國內(nèi)龍頭公司。如平臺(tái)型設(shè)備龍頭北方科創(chuàng)(002371.SZ)、刻蝕設(shè)備龍頭中微公司(688012.SH)、離子注入機(jī)龍頭萬業(yè)企業(yè)(600641.SH)檢測設(shè)備行業(yè)的精測電子(300567.SZ)、長川科技(300604.SZ)等。
而在涂膠顯影設(shè)備與半導(dǎo)體切割設(shè)備方向，大基金目前仍未布局。在優(yōu)先布局半導(dǎo)體材料、設(shè)備的背景下，芯源微、光力科技等細(xì)分龍頭，能否成為大基金二期的投資標(biāo)的，成為行業(yè)關(guān)注熱點(diǎn)。
根據(jù) SEMI 數(shù)據(jù)，目前國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)規(guī)模約千億元，但大部分設(shè)備依賴日美廠商，國產(chǎn)化水平依然較低。
值得關(guān)注的是，過去一年內(nèi)，國內(nèi)設(shè)備領(lǐng)域取得了多項(xiàng)技術(shù)突破。如上海微電子實(shí)現(xiàn)22納米光刻機(jī)技術(shù)，中微公司成功研發(fā)5納米刻蝕機(jī)且進(jìn)入臺(tái)積電產(chǎn)線，至純科技的28納米濕法工藝設(shè)備認(rèn)證完畢。
從客戶導(dǎo)入情況來看，北方華創(chuàng)、中微公司、精測電子等企業(yè)都已進(jìn)入中芯國際產(chǎn)線，而中微公司、至純科技、盛美股份甚至還進(jìn)入了國際頭部廠商——臺(tái)積電、海力士的產(chǎn)線，意味其產(chǎn)品實(shí)力已達(dá)到國際一流水準(zhǔn)。
“以前晶圓廠是很不愿意給國產(chǎn)設(shè)備驗(yàn)證機(jī)會(huì)的，現(xiàn)在態(tài)度發(fā)生了180度的轉(zhuǎn)變?！蹦硣鴥?nèi)半導(dǎo)體設(shè)備高管向財(cái)聯(lián)社記者表示。在大基金的協(xié)調(diào)下，下游晶圓廠不僅驗(yàn)證速度大大加快，還大規(guī)模投入人力、物力、財(cái)力，支持設(shè)備企業(yè)整體工藝指標(biāo)的驗(yàn)證，包括不惜提供大量設(shè)備驗(yàn)證用的晶圓片。
資本推動(dòng)，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展加快
財(cái)聯(lián)社記者注意到，在相關(guān)資本的推動(dòng)下，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)有望加快發(fā)展步伐。
剛剛獲得大基金加持的萬業(yè)企業(yè)，近來先后并購凱世通和Compart Systems，切入離子注入機(jī)和氣體傳輸系統(tǒng)零組件市場，該公司相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，未來公司計(jì)劃覆蓋更多的設(shè)備及材料領(lǐng)域，成為多元化裝備材料平臺(tái)同時(shí)，賦能國內(nèi)設(shè)備企業(yè)，幫助國產(chǎn)化率的提升。
半導(dǎo)體切割機(jī)生產(chǎn)企業(yè)——光力科技內(nèi)部人士也對(duì)財(cái)聯(lián)社記者表示，“目前在手訂單比較充沛，工人要加班加點(diǎn)地做，有不少訂單要到明年春節(jié)左右才能交付。”
中微公司亦在6月份公開表示，當(dāng)前國產(chǎn)化率在可喜地增長，其中國內(nèi)投資的生產(chǎn)線由于客戶支持，國產(chǎn)化率有相當(dāng)大的進(jìn)步，但國外大公司在國內(nèi)的投資產(chǎn)線，國產(chǎn)化率有一定的限制，希望與國外主流的集成電路廠商有進(jìn)一步的合作。
據(jù)興業(yè)證券研究報(bào)告，2021-2023年，大陸國資背景晶圓廠、存儲(chǔ)廠產(chǎn)能提升明顯。僅12英寸邏輯代工芯片，產(chǎn)能將從每月45萬片，暴增至102.5萬片。在此背景下，未來三年或是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的重大機(jī)遇。
芯源微曾在4月份的一場投資者關(guān)系活動(dòng)中宣稱，當(dāng)前中國的半導(dǎo)體市場處于歷史最好時(shí)期，是黃金窗口期，這個(gè)黃金期至少會(huì)持續(xù)三到五年，國內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，包括芯源微，要抓住這個(gè)黃金窗口期。
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