東方晶源兩款電子束量測檢測設(shè)備交付新客戶

6月15日消息,近日隨著上海復(fù)工復(fù)產(chǎn)的快速推進(jìn),東方晶源積極組織設(shè)備交付工作,旗下電子束缺陷檢測(EBI)和關(guān)鍵尺寸量測(CD-SEM)兩臺設(shè)備已順利交付上??蛻簟4舜纬鰴C,是東方晶源繼電子束量測檢測設(shè)備出機國內(nèi)知名晶圓代工廠后,再次贏得頭部客戶的青睞和認(rèn)可。同時,標(biāo)志著東方晶源硬件產(chǎn)品開啟批量交付模式。

據(jù)悉本次出機的電子束缺陷檢測設(shè)備型號為SEpA-i515,面向300mm硅片工藝制程,除具備該系列產(chǎn)品慣有的高靈敏度電性和物理缺陷檢測、有效解決28nm及以上良率問題、自主創(chuàng)新的高性能缺陷檢測引擎(DNA數(shù)據(jù)庫)、基于深度學(xué)習(xí)的缺陷自動分類(ADC)算法等產(chǎn)品特點外,東方晶源研發(fā)團隊還在上一代產(chǎn)品的基礎(chǔ)上優(yōu)化升級,使SEpA-i515具有更高的TPT和更優(yōu)的平臺設(shè)計,設(shè)備運行效率、性能指標(biāo)均有大幅提升。值得一提的是,上一代產(chǎn)品SEpA-i505 已經(jīng)在國內(nèi)頭部晶圓代工廠量產(chǎn)一年,產(chǎn)品性能及穩(wěn)定性得到充分驗證。

另一臺交付的產(chǎn)品為關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備,型號為SEpA-c410,面向300mm硅片工藝制程,通過先進(jìn)的電子束成像系統(tǒng)和高速硅片傳輸方案,搭配精準(zhǔn)的量測算法,可實現(xiàn)高重復(fù)精度、高分辨率及高產(chǎn)能的關(guān)鍵尺寸量測。該設(shè)備自去年6月底進(jìn)入國內(nèi)頭部晶圓代工廠以來產(chǎn)線驗證進(jìn)展順利,階段性驗收成果獲得客戶認(rèn)可,正在積極推進(jìn)產(chǎn)線驗證。

東方晶源電子束量測檢測設(shè)備,依托所承擔(dān)的國家科技重大專項(02專項)——電子束硅片圖形缺陷檢測設(shè)備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目,經(jīng)過數(shù)年攻堅克難,突破多項核心關(guān)鍵技術(shù),從零部件到整機設(shè)計制造,均具有完全自主知識產(chǎn)權(quán),填補國內(nèi)空白。目前,兩款設(shè)備開啟批量交付模式,產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程取得豐碩成果。此次設(shè)備交付的客戶所在地上海在我國集成電路產(chǎn)業(yè)具有舉足輕重的地位,目前已經(jīng)成為國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)綜合水平高、產(chǎn)業(yè)鏈完整、產(chǎn)業(yè)生態(tài)環(huán)境好的集聚地之一。東方晶源十分看重在上海的發(fā)展和布局,繼計算光刻軟件(OPC)進(jìn)入上海頭部晶圓代工企業(yè)后,硬件產(chǎn)品正式登陸上海。為更好的服務(wù)以上海為核心的長三角客戶,東方晶源已于去年8月份在上海設(shè)立子公司,形成北京總部、深圳子公司和上海子公司為核心的三地布局,推動企業(yè)貼近產(chǎn)業(yè)前沿高地,為集成電路制造企業(yè)帶去優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù),更好的與上下游企業(yè)攜手推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展的同時,構(gòu)筑企業(yè)自身競爭壁壘。

東方晶源自成立以來,專注于芯片制造關(guān)鍵環(huán)節(jié)的良率控制和提升領(lǐng)域,形成以計算光刻軟件(OPC)、電子束量測檢測裝備硬件為核心的產(chǎn)品矩陣,并向更多相關(guān)領(lǐng)域積極布局。硬件方面,東方晶源已著手電子束缺陷復(fù)檢設(shè)備DR-SEM(Defect Review SEM)的研發(fā)工作,進(jìn)一步夯實在國內(nèi)電子束檢測領(lǐng)域領(lǐng)先的市場地位和核心技術(shù)優(yōu)勢。軟件方面,光刻工藝嚴(yán)格仿真軟件PanSim已經(jīng)在客戶側(cè)進(jìn)行驗證,預(yù)計7月底release V1.0版本。未來,東方晶源將立足通用軟件平臺和檢測裝備兩大領(lǐng)域,尋求橫縱向發(fā)展機遇,為客戶提供更加多樣化的產(chǎn)品,向著國內(nèi)集成電路領(lǐng)域良率管理領(lǐng)導(dǎo)者的目標(biāo)奮進(jìn)。

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2022-06-15
東方晶源兩款電子束量測檢測設(shè)備交付新客戶
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