1月20日消息（南山）據(jù)臺媒報道，英特爾宣布向荷蘭光刻機制造商ASML預(yù)訂了一臺仍在設(shè)計中的頂級EUV光刻機，為業(yè)界首家。這臺光刻機型號為High-NA量產(chǎn)型EUV光刻機EXE:5200，是業(yè)界最強的光刻機，此刻尚未面世。
據(jù)悉，臺積電此前已經(jīng)向ASML采購High-NA研發(fā)型EUV光刻機EXE: 5000，預(yù)計在今年內(nèi)會跟進下單High-NA量產(chǎn)型EUV光刻機。
此前，英特爾確定自己是ASML的High-NA研發(fā)型EUV光刻機EXE: 5000的第一個買家。
據(jù)ASML透露，High-NA研發(fā)型EUV光刻機EXE: 5000將在2024年前出貨，在手訂單已達5臺。量產(chǎn)型EUV光刻機EXE: 5200將在2024年推出，支持客戶的后續(xù)量產(chǎn)計劃。這款光刻機瞄準(zhǔn)了2025年后晶圓制造的最新工藝節(jié)點，例如2nm工藝。
英特爾期望能在晶圓制造領(lǐng)域超過龍頭臺積電。與此同時，英特爾還大量采用臺積電的晶圓代工服務(wù)，預(yù)期未來幾年會成為臺積電的大客戶之一。
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