近日，睿勵科學(xué)儀器宣布完成近5億元戰(zhàn)略融資，本輪融資由金石投資和招商致遠(yuǎn)聯(lián)合領(lǐng)投，河南資產(chǎn)、金信資本、鼎青投資等跟投。所融資金主要用于進(jìn)一步提升先進(jìn)半導(dǎo)體制程用的光學(xué)量檢測設(shè)備的國產(chǎn)替代能力，豐富產(chǎn)品種類，加大市場開拓力度能力。
睿勵科學(xué)儀器是一家集成電路工藝檢測設(shè)備供應(yīng)商，從事集成電路生產(chǎn)制造工藝檢測設(shè)備的開發(fā)和研制，為用戶提供光學(xué)測量設(shè)備、光學(xué)關(guān)鍵尺寸分析系統(tǒng)、鎵液態(tài)離子源、缺陷檢測、等離子體灰化等產(chǎn)品，廣泛用于科學(xué)儀器、微電子等領(lǐng)域，目前擁有的主要產(chǎn)品包括光學(xué)檢測設(shè)備、硅片厚度及翹曲測量設(shè)備及子公司宏觀缺陷檢測設(shè)備等。
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