國(guó)內(nèi)頭部半導(dǎo)體存儲(chǔ)器制造商，專業(yè)從事集成電路內(nèi)存芯片的設(shè)計(jì)、研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，目前 12 英寸晶圓廠已建成投產(chǎn)。其在國(guó)內(nèi)外擁有多個(gè)研發(fā)中心和分支機(jī)構(gòu)，已推出多款不同類(lèi)型的內(nèi)存芯片，滿足多種應(yīng)用需求。
隨著市場(chǎng)行情的回暖和外部需求的增長(zhǎng)，公司產(chǎn)能逐漸提升，現(xiàn)有 Stocker 晶圓存儲(chǔ)立庫(kù)(以下簡(jiǎn)稱 Stocker)的存儲(chǔ)量無(wú)法滿足需求，急需擴(kuò)充 FOUP 的存儲(chǔ)。
同時(shí)由于客戶工藝流程復(fù)雜、生產(chǎn)過(guò)程離散，會(huì)使得某些機(jī)臺(tái)在某一段時(shí)間內(nèi)，積累的晶圓比較多，如果是依賴人力搬運(yùn)，難免出現(xiàn)調(diào)度、轉(zhuǎn)運(yùn)不及時(shí)的情況，從而造成瓶頸機(jī)臺(tái)的擁塞以及部分機(jī)臺(tái)運(yùn)行不飽和。
眾所周知，從早期的 6 英寸晶圓廠，到如今的 8 英寸、12 英寸廠成為主流，半導(dǎo)體制造工藝越來(lái)越先進(jìn)，產(chǎn)線中的工序成倍增長(zhǎng)，關(guān)鍵機(jī)臺(tái)的吞吐量也在一代代的更迭中迅速增加，傳統(tǒng)人力在產(chǎn)線設(shè)備間的物料搬運(yùn)，成為制約生產(chǎn)效率和生產(chǎn)質(zhì)量的瓶頸。也因此，AMHS 從 8 英寸廠開(kāi)始顯露頭角，在 12 英寸廠中成為標(biāo)配。
AMHS 主要由 OHT 空中搬運(yùn)小車(chē)、Stocker 晶圓存儲(chǔ)立庫(kù)、MCS/OHTC/STKC 軟件系統(tǒng)等組成。其中 Stocker 作為 AMHS 的重要構(gòu)成，用于潔凈室內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)工序及工序之間晶圓載具的存儲(chǔ)，可與上位系統(tǒng)進(jìn)行通訊，實(shí)現(xiàn)帳料自動(dòng)管理。為客戶生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)減少物料搬運(yùn)擁堵情況，降低傳送周期，管理復(fù)雜的批次操作，實(shí)現(xiàn)物料高效搬運(yùn)。同時(shí)確保機(jī)臺(tái)排產(chǎn)充足，為工廠實(shí)現(xiàn) Fully Auto 提供重要支持。
根據(jù)無(wú)塵室可利用空間，格創(chuàng)東智靈活定制各類(lèi)型 Stocker，實(shí)現(xiàn)空間最大化。
Stocker 設(shè)備打包完畢、發(fā)往客戶工廠
通過(guò)導(dǎo)入格創(chuàng)東智 Stocker，自動(dòng)化存儲(chǔ)、提取和傳送各種規(guī)格的晶圓料盒，該頭部 12 吋晶圓廠實(shí)現(xiàn)了高效自動(dòng)化物料存儲(chǔ)擴(kuò)產(chǎn)的需求。
1、自動(dòng)物料搬運(yùn)存儲(chǔ)
Stocker 專為潔凈車(chē)間設(shè)計(jì)，與 OHT 等自動(dòng)化設(shè)備的協(xié)同作業(yè)構(gòu)建起高效的自動(dòng)物料搬運(yùn)存儲(chǔ)系統(tǒng) AMHS，根據(jù)生產(chǎn)計(jì)劃和需求來(lái)優(yōu)化物料流動(dòng)。
2、降低人力 & 提高效率
作為無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的臨時(shí)存儲(chǔ)庫(kù)，Stocker 可平衡設(shè)備及工藝間產(chǎn)能的差異，最大程度縮短晶圓在工藝設(shè)備間的流轉(zhuǎn)時(shí)間，提高設(shè)備利用率;Stocker 控制系統(tǒng)可自動(dòng)向 MCS 系統(tǒng)更新對(duì)應(yīng)物料的位置信息，實(shí)現(xiàn)物料的統(tǒng)一管理，提高工作效率的同時(shí)減少人員工作強(qiáng)度。
3、提高產(chǎn)品質(zhì)量
Stocker 內(nèi)部可達(dá)到較高的潔凈度，能夠滿足物料存儲(chǔ)對(duì)潔凈度的要求，同時(shí)庫(kù)存和物料流動(dòng)的實(shí)時(shí)追蹤有助于快速定位和解決潛在問(wèn)題，進(jìn)而提升產(chǎn)品質(zhì)量、實(shí)現(xiàn)制造過(guò)程的可追溯性。
4、提高空間利用率
Stocker 能夠充分利用潔凈車(chē)間的閑置面積及垂直空間，在相同占地面積中提高倉(cāng)儲(chǔ)容量，從而提高空間利用率。
與常規(guī)交付相比，此次項(xiàng)目的工期非常緊，格創(chuàng)東智臨危受命，緊急協(xié)調(diào)各種資源，組建專業(yè)項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)，與客戶緊密溝通，快速實(shí)現(xiàn) Stocker 的調(diào)試 / 交付(第一臺(tái) Stocker 從客戶 PO 下發(fā)到現(xiàn)場(chǎng)交付僅僅 15 天，這個(gè)效率在業(yè)界是絕無(wú)僅有的)，非常及時(shí)、高效地支撐了客戶產(chǎn)能的提升，并取得了客戶的高度認(rèn)可。
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