ASM亮相首屆灣芯展，推出全新PE2O8碳化硅外延機臺

全新推出的PE2O8碳化硅外延機臺是對行業(yè)領先的ASM單晶片碳化硅外延機臺產(chǎn)品組合（包含適用于6英寸晶圓的 PE1O6 和適用于8英寸晶圓的 PE1O8）的進一步增強。該機臺采用獨立雙腔設計，兼容6英寸和8英寸晶圓，可實現(xiàn)增加產(chǎn)量的同時，降低成本。

2024年10月16至18日，ASM先晶半導體亮相于深圳舉辦的首屆灣芯展（SEMiBAY 2024）。在國際化合物半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇上，ASM推出了最新的適用于碳化硅外延的新型雙腔機臺PE2O8。該產(chǎn)品專為滿足先進碳化硅功率器件的制造需求而設計，是一款擁有低缺陷率和高工藝一致性的標桿性外延機臺，可廣泛應用于各類碳化硅器件的制造，在實現(xiàn)增加產(chǎn)量的同時，降低擁有成本。

ASM PE2O8碳化硅外延機臺

隨著電氣化趨勢的不斷演進，越來越多的功率器件制造商選擇將碳化硅應用于需求與日俱增的大功率器件中，這其中就包括電動汽車、綠色能源和先進數(shù)據(jù)中心等產(chǎn)業(yè)。同時，越來越多的產(chǎn)業(yè)也對于碳化硅器件的應用提出了低成本的要求，促使碳化硅晶圓從 6英寸到 8英寸的升級進一步加快。此外，受益于當下更為先進的碳化硅外延技術，碳化硅設備制造商設計更大功率器件的能力也得到了增強。

得益于其獨特的雙腔設計，PE2O8機臺可以通過尤為精確的控制方式沉積碳化硅，實現(xiàn)了更高產(chǎn)量和吞吐量。其高度緊湊的獨立雙腔設計也有效保障了高生產(chǎn)率和低運行成本。此外，PE2O8機臺還采用了更為簡便的預防性維護措施，有助于延長設備正常運行時間，減少計劃外停機時間。目前，ASM已向全球多家行業(yè)領先的碳化硅功率器件制造商交付了PE2O8機臺。

ASM公司副總裁兼等離子體和外延業(yè)務部門負責人Steven Reiter表示：“碳化硅功率產(chǎn)品正經(jīng)歷著一場關鍵的技術轉折期?？蛻糁饾u從6英寸晶圓向8 英寸過渡，這一過程勢必會對良率、外延工藝，以及產(chǎn)品缺陷控制等方面提出更高的要求。憑借著新穎的腔室設計，ASM已成為了碳化硅領域工藝一致性的行業(yè)標桿。而隨著此次PE2O8機臺的推出，我們的相關產(chǎn)品組合也得到了進一步升級，能夠以更低的擁有成本改善工藝控制，客戶創(chuàng)造更高的價值?！?/p>

自 2022 年以來，ASM 一直在通過公司全新規(guī)劃的碳化硅外延產(chǎn)品部門開發(fā)和完善單晶片碳化硅外延設備。伴隨著電動汽車市場結構性需求的增長，以及碳化硅晶圓和器件良率的不斷提高，碳化硅外延設備市場已于近年來實現(xiàn)了大幅增長。

生成海報

免責聲明：本網(wǎng)站內容主要來自原創(chuàng)、合作伙伴供稿和第三方自媒體作者投稿，凡在本網(wǎng)站出現(xiàn)的信息，均僅供參考。本網(wǎng)站將盡力確保所提供信息的準確性及可靠性，但不保證有關資料的準確性及可靠性，讀者在使用前請進一步核實，并對任何自主決定的行為負責。本網(wǎng)站對有關資料所引致的錯誤、不確或遺漏，概不負任何法律責任。任何單位或個人認為本網(wǎng)站中的網(wǎng)頁或鏈接內容可能涉嫌侵犯其知識產(chǎn)權或存在不實內容時，應及時向本網(wǎng)站提出書面權利通知或不實情況說明，并提供身份證明、權屬證明及詳細侵權或不實情況證明。本網(wǎng)站在收到上述法律文件后，將會依法盡快聯(lián)系相關文章源頭核實，溝通刪除相關內容或斷開相關鏈接。